由于激光器采用特殊的直接水冷却的板条式电极，为防止产生对内部元件的化学腐蚀，激光器所配用的冷水机和循环冷却水需满足特别的要求，有责任通知和要求最终客户必须按照公司的有关说明和要求配备水冷机及和循环冷却水及防腐抑制剂，否则由于循环水的质量问题可能会导致热内部元件的化学腐蚀从而造成激光器谐振腔的内漏等严重情况，由于客户不按要求配用水冷机和循环冷却水及未添加发防腐抑制剂而引发的类似情况公司针对相应的激光器提供的机器保修将自行失效。

为了保证循环冷却水长时间工作的稳定性，要求水冷机和循环水路中所用的水箱、水泵、阀门等直接接触循环水的元器件只可使用不锈钢、铜合金或工程塑料等具有化学稳定性的材料，整个水路中不可使用铝合金或化学铸铁等化学稳定性较差的材料。循环水路的软管要使用不透光的材料，避免光照在水中产生的藻类微生物等。在水冷机出水口到激光器进水口之间必须安装精度小于100微米的过滤器，避免水中的杂质沉积激光器水冷元件的内壁，否则一段时间后由于杂质沉积在元件的内壁将影响水冷元件的热交换效率，从而影响激光器额定功率的稳定输出。

为了保证整个循环冷却水系统中水的品质，在初次安装（或移机安装）时首先要依次用自来水和纯净水对整个水路进行循环清洗（清洗时要拿掉过滤器的滤芯，清洗结束后再装回），确认清洗效果后放尽循环水路中的残留水，然后再加入导电率小于10us/cm的去离子水（或纯净水）激光器才可以开始工作。

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